MOCVD设备气体输运与加热控制系统设计

本论文在充分了解和研究了国内外主流的几款MOCVD 系统的前提下，总结出MOCVD 系统的结构特点和运行过程，提出了对MOCVD 气路系统和加热系统进行控制的方法，全文主要从三个方面对MOCVD 系统进行了研究：首先，对MOCVD 的原理、MOCVD 系统的结构以及MOCVD 系统的运行过程进行了详细的研究，给出了本项目组设计的MOCVD 系统整体结构，对系统的各组成部分和系统的运行过程进行了详细的介绍。其次，针对MOCVD 系统气路部分的三个关键控制量：MO 源钢瓶压力控制、Run 管路和Vent 管路的压差控制以及Run 管路的气体补偿控制,提出了相应的控制方案。最后，对MOCVD 系统温度控制的特点进行了分析，对比了感应加热和红外辐射加热的优缺点，提出以红外辐射加热的方式来对加热电炉进行设计，随后对加热电炉发热体材料和绝缘材料..